Проектирование пьезоэлектрического измерителя влажности для контроля технологических процессов (Дипломная работа)

1. Вводный раздел
1.1 Введение
1.2 Анализ технического задания
1.3 Анализ понятия "ВЛАЖНОСТЬ" и выбор метода для её измерения
1.4 Масс-чувствительные пьезорезонансные датчики
2. Схемотехнический раздел
2.1 Разработка структурной схемы
2.2 Разработка функциональной схемы
2.3 Разработка принципиальной электрической схемы
3. Исследовательско-экспериментальный раздел
4. Технологический раздел
4.1 Анализ
4.2 Обоснование выбора материалов
4.3 Формирование тонких плёнок методом термовакуумного напыления
4.4 Методы формирования тонкоплёночных структур
4.5 Разработка технологического процесса изготовления ГИС
4.6 Испытания
5. Расчётно-конструкторский раздел
5.1 Методика расчёта конструкции тонкоплёночных элементов
5.2 Числовой расчёт плёночных элементов
5.3 Конструктивные меры защиты ГИС от воздействия дестабилизирующих факторов
5.4 Обеспечение надёжности ГИС
6. Организационно - экономический раздел
7. Охрана труда
8. Заключение
Список литературы

Всего 71 страница