Ирина Эланс
Заказ: 1105314
Лабораторная работа № 8 РАСЧЕТ ПАРАМЕТРОВ ПРОЦЕССА ОБРАЗОВАНИЯ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ ПЛЕНКИ НА КРЕМНИИ ПРИ ВЫСОКОТЕМПЕРАТУРНОМ ОКИСЛЕНИИ
Лабораторная работа № 8 РАСЧЕТ ПАРАМЕТРОВ ПРОЦЕССА ОБРАЗОВАНИЯ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ ПЛЕНКИ НА КРЕМНИИ ПРИ ВЫСОКОТЕМПЕРАТУРНОМ ОКИСЛЕНИИ
Описание
ЦЕЛЬ РАБОТЫ: ознакомиться с теоретическими основами роста окисных пленок на кремнии и методами расчета некоторых технологических параметров.
ТЕОРЕТИЧЕСКАЯ ЧАСТЬ
Этапы роста окисной пленки
Модель термического окисления кремния
Влияние ориентации на скорость окисления
Методы окисления и оборудование
ХОД РАБОТЫ:
1. Исходные данные для расчета: температура окисления кремниевой пластины Т = 800+15(N-1)°C.
2. Используя данные таблиц, построить температурные зависимости констант скорости окисления кремния в сухом и влажном кислороде.
3. Для заданной температуры , используя построенные в п.2 графики, найти соответствующие значения констант скорости окисления кремния в сухом и влажном кислороде.
Примечание: значения констант скорости представлены в следующем пункте перед соответствующими графиками зависимостей.
4. Построить графики зависимостей толщины окислов от времени окисления в условиях влажного, сухого кислорода, а также, в зависимости от кристаллографической ориентации поверхности кремния. Время окисления 150 мин; число точек - не менее 10.
Вывод
Всего: 15 страниц
- Лабораторная работа № 8Цель работы: исследование особенности работы трехфазной цепи при соединении потребителей треугольником при симметричной и несимметричной нагрузке
- Лабораторная работа № 8Цель работы: исследование особенности работы трехфазной цепи при соединении потребителей треугольником при симметричной и несимметричной нагрузке
- Лабораторная работа №9 Временные характеристики линейных электрических цепей Вариант 4
- Лабораторная работа №9 Временные характеристики линейных электрических цепей Вариант 4
- Лабораторная работа №9. Исследование линейной электрической цепи при несинусоидальных напряжениях и токах Предварительный расчетИсходные данные: Стенд №1: Um = 22 B; f1 = 300 Гц; f2 = 600 Гц; L = 18.4 мГн; Rк = 10.6 Ом; С = 0.5 мкФ.
- Лабораторная работа №9. Исследование линейной электрической цепи при несинусоидальных напряжениях и токах Предварительный расчетИсходные данные: Стенд №1: Um = 22 B; f1 = 300 Гц; f2 = 600 Гц; L = 18.4 мГн; Rк = 10.6 Ом; С = 0.5 мкФ.
- Лабораторная работа № 9. «Исследование частотных характеристик четырехполюсников». Цель работы: получение навыков расчета и исследований характеристик и параметров цепей с реактивными элементами. Освоение методик измерения частотных характеристик четырехполюсников и обработки результатов исследований. Вариант 9
- Лабораторная работа № 7Цель работы: ознакомиться с трехфазными системами, измерением фазных и линейных токов и напряжений. Проверить основные соотношения между токами и напряжениями симметричного и несимметричного трехфазного потребителя. Выяснить роль нейтрального провода в четырехпроводной трехфазной системе. Научиться строить векторные диаграммы напряжений и токов.
- Лабораторная работа № 7Цель работы: ознакомиться с трехфазными системами, измерением фазных и линейных токов и напряжений. Проверить основные соотношения между токами и напряжениями симметричного и несимметричного трехфазного потребителя. Выяснить роль нейтрального провода в четырехпроводной трехфазной системе. Научиться строить векторные диаграммы напряжений и токов.
- Лабораторная работа № 8 - 6 Исследование переходного процесса в R - L цепи. На вход схемы (рис.1) подаётся прямоугольный импульс, который формируется при нажатии на кнопку "ПУСК" генератора прямоугольных импульсов ( ГПИ ). При помощи осцилографа были сняты графики изменения напряжений UR(t) и UL(t) . Определить параметры схемы ( найти R и L ) и записать законы по которым изменяются напряжения UR(t) и UL(t) . При этом известно, что максимальное значение тока в цепи достигает 2,5 A.
- Лабораторная работа № 8 - 6 Исследование переходного процесса в R - L цепи. На вход схемы (рис.1) подаётся прямоугольный импульс, который формируется при нажатии на кнопку "ПУСК" генератора прямоугольных импульсов ( ГПИ ). При помощи осцилографа были сняты графики изменения напряжений UR(t) и UL(t) . Определить параметры схемы ( найти R и L ) и записать законы по которым изменяются напряжения UR(t) и UL(t) . При этом известно, что максимальное значение тока в цепи достигает 2,5 A.
- Лабораторная работа №8 «Исследование нелинейных электрических цепей постоянного тока»4.1.Исследование вольт-амперной характеристики нелинейного элемента (полупроводникового диода).4.2. Исследование последовательного соединения нелинейных элементов4.3. Исследование параллельного соединения нелинейных элементов
- Лабораторная работа №8 «Исследование нелинейных электрических цепей постоянного тока»4.1.Исследование вольт-амперной характеристики нелинейного элемента (полупроводникового диода).4.2. Исследование последовательного соединения нелинейных элементов4.3. Исследование параллельного соединения нелинейных элементов
- Лабораторная работа №8 Поверка амперметра, вольтметра и счетчика электрической энергии
Предварительный просмотр
