Заказ: 1105312

Лабораторная работа №3 РАСЧЕТ ДИФФУЗИОННОГО ПРОФИЛЯ ЛЕГИРУЮЩИХ ПРИМЕСЕЙ В КРЕМНИИ ПРИ РАЗЛИЧНЫХ РЕЖИМАХ ДИФФУЗИИ

Лабораторная работа №3 РАСЧЕТ ДИФФУЗИОННОГО ПРОФИЛЯ ЛЕГИРУЮЩИХ ПРИМЕСЕЙ В КРЕМНИИ ПРИ РАЗЛИЧНЫХ РЕЖИМАХ ДИФФУЗИИ
Описание

Цель работы: изучить физические основы процесса диффузии и методику расчета диффузионных профилей при диффузии из постоянного источника и слоя конечной толщины в полуограниченное тело.


Теоретическая часть
1.Физические основы процесса диффузии
2.Диффузионный профиль

ХОД РАБОТЫ
Исходные данные
1. В соответствии с заданным вариантом построить профили распределения примесей при загонке и разгонке.
2. Найти координаты точек инверсии типа проводимости и нанести их на графики.
3. Определить дозу легирования при загонке
ВЫВОД

Всего: 12 страниц







Предварительный просмотр

Лабораторная работа №3   РАСЧЕТ  ДИФФУЗИОННОГО  ПРОФИЛЯ  ЛЕГИРУЮЩИХ  ПРИМЕСЕЙ  В  КРЕМНИИ  ПРИ  РАЗЛИЧНЫХ РЕЖИМАХ  ДИФФУЗИИ