Курсовая работа на тему: "Расчет параметров процесса ионно-плазменной обработки материалов" (вариант 15)

СОДЕРЖАНИЕ:
ВВЕДЕНИЕ - 4 -
1. ТЕХНИКА КАТОДНОГО РАСПЫЛЕНИЯ - 5 -
1.1. ТЕХНИКА ПОЛУЧЕНИЯ ВАКУУМА - 5 -
1.2. ТЕХНИКА ИЗМЕРЕНИЯ НИЗКИХ ДАВЛЕНИЙ - 8 -
1.3. КОНСТРУКТИВНЫЕ ОСОБЕННОСТИ УСТАНОВКИ КАТОДНОГО РАСПЫЛЕНИЯ - 9 -
1.4. РАСЧЁТ ВРЕМЕНИ ОТКАЧКИ ПРЕДВАРИТЕЛЬНОГО ВАКУУМА - 9 -
1.5. ПОСЛЕДОВАТЕЛЬНОСТЬ ПРОЦЕССА КАТОДНОГО РАСПЫЛЕНИЯ - 10 -
2. ТЕОРИЯ ЭЛЕКТРИЧЕСКОГО ГАЗОВОГО РАЗРЯДА - 11 -
2.1. ТИПИЧНЫЕ РАЗРЯДЫ В ПОСТОЯННОМ ЭЛЕКТРИЧЕСКОМ ПОЛЕ - 11 -
2.2. УСЛОВИЯ СУЩЕСТВОВАНИЯ РАЗРЯДА В ГАЗАХ - 12 -
2.3. ВОЛЬТАМПЕРНАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА РАЗРЯДА МЕЖДУ ЭЛЕКТРОДАМИ - 13 -
2.4. РАСЧЕТ ВОЛЬТАМПЕРНОЙ ХАРАКТЕРИСТИКИ РАЗРЯДА ПРИ КАТОДНОМ РАСПЫЛЕНИИ - 14 -
3. ТЕОРИЯ КАТОДНОГО РАСПЫЛЕНИЯ - 16 -
3.1. ФИЗИЧЕСКИЕ МОДЕЛИ КАТОДНОГО РАСПЫЛЕНИЯ - 16 -
3.2. КОЭФФИЦИЕНТ РАСПЫЛЕНИЯ И ФАКТОРЫ, ВЛИЯЮЩИЕ НА ЕГО ВЕЛИЧИНУ - 16 -
3.3. РАСЧЕТ КОЭФФИЦИЕНТА РАСПЫЛЕНИЯ - 17 -
3.4. ПЕРЕНОС РАСПЫЛЕННОГО МАТЕРИАЛА ОТ МИШЕНИ К ПОВЕРХНОСТИ КОНДЕНСАЦИИ - 19 -
3.5. РАСЧЕТ СКОРОСТИ ОСАЖДЕНИЯ - 20 -
3.6. РАСЧЕТ РАСПРЕДЕЛЕНИЯ ПЛЕНКИ ПО ТОЛЩИНЕ - 21 -
3.7. МЕТОДЫ КОНТРОЛЯ СКОРОСТИ ОСАЖДЕНИЯ И ТОЛЩИНЫ ТОНКИХ ПЛЕНОК - 21 -
3.8. ВЛИЯНИЕ ПАРАМЕТРОВ ОСАЖДЕНИЯ НА СВОЙСТВА ПЛЕНОК - 23 -
4. ТЕПЛОВЫЕ ПРОЦЕССЫ ПРИ КАТОДНОМ РАСПЫЛЕНИИ - 24 -
4.1. РАСЧЕТ ТЕМПЕРАТУРНОГО РЕЖИМА КАТОДА-МИШЕНИ - 24 -
ЗАКЛЮЧЕНИЕ - 26 -
БИБЛИОГРАФИЧЕСКИЙ СПИСОК - 27 -
ПРИЛОЖЕНИЕ 1 - 28 -
ПРИЛОЖЕНИЕ 2 - 29 -
ПРИЛОЖЕНИЕ 3 - 30 -
ПРИЛОЖЕНИЕ 4 - 31 -
ПРИЛОЖЕНИЕ 5 - 32 -
ПРИЛОЖЕНИЕ 6 - 33 -
ПРИЛОЖЕНИЕ 7 - 34 -
ПРИЛОЖЕНИЕ 8 - 35 -
ПРИЛОЖЕНИЕ 9 - 36 -
ПРИЛОЖЕНИЕ 10 - 37 -
ПРИЛОЖЕНИЕ 11 - 38 -
ПРИЛОЖЕНИЕ 12 - 39 -
ПРИЛОЖЕНИЕ 13 - 40 -
ПРИЛОЖЕНИЕ 14 - 41 -
ПРИЛОЖЕНИЕ 15 - 42 -
ПРИЛОЖЕНИЕ 16 - 43 -
ПРИЛОЖЕНИЕ 17 - 44 -
ПРИЛОЖЕНИЕ 18 - 45 -

Предварительный просмотр