Курсовая работа на тему: "Расчёт параметров процесса ионно-плазменной обработки материалов"

СОДЕРЖАНИЕ
ВВЕДЕНИЕ...............................................................................................................4
1. ТЕХНИКА КАТОДНОГО РАСПЫЛЕНИЯ.......................................................................................................5
1.1. Техника получения вакуума................................................................................5
1.2. Техника измерения низких давлений.................................................................6
1.3. Конструктивные особенности установки катодного распыления...................8
1.4. Расчёт времени откачки предварительного вакуума........................................9
1.5. Последовательность процесса катодного распыления...................................11
2. ТЕОРИЯ ЭЛЕКТРИЧЕСКОГО ГАЗОВОГО РАЗРЯДА.................................................................................................................12
2.1. Типичные разряды в постоянном электрическом поле..................................12
2.2. Условия существования разряда в газах..........................................................17
2.3. Вольт-амперная характеристика разряда между электродами......................17
2.4. Расчёт вольт-амперной характеристики разряда при катодном распылении......19
3. ТЕОРИЯ КАТОДНОГО РАСПЫЛЕНИЯ...................................................................24
3.1. Физические модели катодного распыления.....................................................24
3.2. Коэффициент распыления и факторы, влияющие на его величину............25
3.3. Расчёт коэффициента распыления....................................................................26
3.4. Перенос распылённого материала от мишени
к поверхности конденсации................................................................................30
3.5. Расчёт скорости осаждения...............................................................................30
3.6. Влияние параметров осаждения на свойства плёнок......................................31
4. ТЕПЛОВЫЕ ПРОЦЕССЫ ПРИ КАТОДНОМ РАСПЫЛЕНИИ.....................................................................................................32
4.1. Расчёт температурного режима катода-мишени..............................................32
ЗАКЛЮЧЕНИЕ......................................................................................................35
БИБЛИОГРАФИЧЕСКИЙ СПИСОК........................................36
ПРИЛОЖЕНИЕ 1......................................................................................37
ПРИЛОЖЕНИЕ 2.....................................................................................38
ПРИЛОЖЕНИЕ 3.....................................................................................39
ПРИЛОЖЕНИЕ 4.....................................................................................40
ПРИЛОЖЕНИЕ 5.....................................................................................41
ПРИЛОЖЕНИЕ 6......................................................................................42
ПРИЛОЖЕНИЕ 7......................................................................................43

Предварительный просмотр