Заказ: 1105313

Лабораторная работа № 4 РАСЧЕТ КОЭФФИЦИЕНТА РАСПЫЛЕНИЯ ИЗОТРОПНОЙ МИШЕНИ ИОНАМИ ИНЕРТНЫХ ГАЗОВ

Лабораторная работа № 4 РАСЧЕТ КОЭФФИЦИЕНТА РАСПЫЛЕНИЯ ИЗОТРОПНОЙ МИШЕНИ ИОНАМИ ИНЕРТНЫХ ГАЗОВ
Описание

ЦЕЛЬ РАБОТЫ: Изучить теоретические особенности ионно-плазменного распыления и методику расчета коэффициента распыления изотропной мишени ионами инертных газов.

ТЕОРЕТИЧЕСКАЯ ЧАСТЬ
Ионное распыление
Коэффициент распыления
Методика расчета коэффициента распыления

ХОД РАБОТЫ
Вариант №12
Исходные данные
1. Для иона инертного газа и материала мишени найти значение пороговой энергии Епор.
2. Произвести расчет коэффициента распыления
3. Построить график зависимости коэффициента распыления от энергии бомбардирующего иона.
4. Определить время, в течение которого будет удален слой материала толщиной 1 мкм
Вывод

Всего: 11 страниц









Предварительный просмотр

Лабораторная работа № 4    РАСЧЕТ КОЭФФИЦИЕНТА РАСПЫЛЕНИЯ ИЗОТРОПНОЙ МИШЕНИ ИОНАМИ ИНЕРТНЫХ ГАЗОВ